羅茨真空泵指的是具備一對同步高速運轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵,此泵不能獨立抽氣,前級要配油封、水環(huán)等可直排大氣。它的構(gòu)造和原理與羅茨風(fēng)機類似,運行時其進氣口與被抽空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相連。這類真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間互相不觸及。無需用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精度更易確保,故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。
羅茨真空泵的極限真空除在于泵本身構(gòu)造和制作精確度外,還在于前級泵的極限真空。為了更好地提升泵的極限真空度,可將羅茨真空泵串聯(lián)運用。羅茨泵的原理與羅茨風(fēng)機類似。因為轉(zhuǎn)子的持續(xù)旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進氣口吸進到轉(zhuǎn)子與泵殼間的區(qū)域v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出去。因為進氣后v0區(qū)域是全封閉式模式,因此,在泵腔內(nèi)氣體并沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊沿,v0區(qū)域與排氣側(cè)互通時,因為排氣側(cè)氣體壓強較高,則有部分氣體返跑到區(qū)域v0中去,使氣體壓強忽然升高。當(dāng)轉(zhuǎn)子再繼續(xù)運轉(zhuǎn)時,氣體排出去泵外。